產(chǎn)品中心Product Centre
全自動(dòng)晶圓去膜機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):NDW280R
(應(yīng)用于晶圓背膠、包覆、光刻、化學(xué)保護(hù)、二次減薄等工藝)產(chǎn)品詳情
? 4" - 8"晶圓適用 | ? 可選嵌入式紫外線照射模塊 |
? 可處理薄晶圓 | ? 適應(yīng)多種膠膜撕除 |
? 兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料 | ? 無需任何耗材 |
? 智能測(cè)細(xì)籃內(nèi)晶圓 | ? 工控機(jī)+Windows系統(tǒng) |
? 專利的機(jī)械手去摸技術(shù) | ? SECS/GEM或簡(jiǎn)易聯(lián)網(wǎng)能力 |
安全知識(shí)